簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw=" 準分子雷射熱處理加工"


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    電腦輔助分析重熔矽膜之凝固
    • /94/ 碩士
    • 研究生: 蔡承峰 指導教授: 雷添壽
    • 準分子雷射重熔矽膜是目前加工低溫多晶矽最常見的手法,但在狹小的製程窗口下其複雜的結晶機制,往往難以控制。大多數的製程參數設定都是以試誤法的方式來進行調整。但是在試誤過程中所耗費的人力、資源及時間難以…
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